色散X射線熒光光譜儀

１．概要 本規格書為使用 X 射線熒光分析法的能量色散型 X 射線熒光分析裝置的說明。該裝置具有以下特點： （１）搭載了無需液氮的 SDD 檢測器，靈敏度高，分析速度快。 （２）考慮到分析通用性，搭載了標配準直器和樣品觀察攝像頭。 （３）搭載 5 種濾光片，從輕元素到重元素，可進行高靈敏度分析（其中一種為 EDX-7000/8000 采用的濾光片，使以往分析困難的 Pd, Ru, Rh 等元素的分析成為可能）。 （４）搭載標準軟件：操作簡便，初次使用人員也可進行簡單分析的軟件（PCEDX-Navi）和以往通用 分析軟件（PCEDX-Pro）。 （５）完善了無需標樣的定量分析方法--定性定量分析法(FP 法)，標配搭載背景 FP 法，該方法可以提 高不規則有機物樣品和微小樣品的定量分析精確度。 （６）緊湊的機體上擁有 300(W)×275(D)×約 100(H)mm 的大型樣品室，從大型樣品到微小樣品，可 以靈活應對。 ２．構成 本裝置由以下 5 部分構成： （１）Ｘ射線發生部 ……………該部為激發樣品中的原子產生一次Ｘ射線的部分。由Ｘ射線管、Ｘ射線 電源、一次Ｘ射線濾光片構成。 （２）檢 測 器……………… 裝有檢測熒光Ｘ射線的半導體檢測器、檢測器高壓電源和前置放大器 等。 （３）計數?控制部 …………… 計數部由 MCA（多通道分析儀）等構成?？刂撇績戎糜嬎銠C，控制 系統整體。 （４）樣品室?檢測室部 ……… 該部分為大型樣品室。與真空/氦氣置換以及調整鈕的選購件組合 后，可提高輕元素的分析靈敏度和多樣品連續分析的分析效率。 （５）PCEDX 軟件……… 進行主機控制和定性?定量分析的操作。 ３．標準構成 ３．１ X 射線發生部 （１）X 射線管............................................................................................................................................... 1 套 （２）X 射線電源........................................................................................................................................... 1 套 （３）X 射線一次濾光片.. ........................................................................................................................... 1 套 ３．２ 檢測器 （１）半導體檢測器.......... ........................................................................................................................... 1 套 ３．３ 計數?控制部 （１）計數?控制部...................................................................................................................................... 1 套 ３．４ 樣品室?檢測室部 （１）樣品室?檢測室.................................................................................................................................. 1 套 ３．５ EDX 軟件（參照附件規格表）.................................................................................................... 1 套 ３．６ 標準配件 .......................................................................................................................................... 1 套 ３．７ 使用說明說...................................................................................................................................... 1 套 /11S142-0434B 2

４．詳細規格 ４．１ X 射線發生部 (1) X 射線管 樣 式 側窗、額定連續功率 50W Rh 靶 冷卻方式 空冷（帶風扇） (2) X 射線電源 電壓 4 ～ 50kV、步進 1kV 電流 1 ～ 1000μA、步進 1μA  輸出穩定性 ±0.5% 電路保護 檢測過電壓、過電流、過負荷、微放電 防 X 射線泄漏聯鎖裝置 按鍵開關 X 射線發生有效/無效控制 (3) 警告顯示 后部警告顯示燈 發生 X 射線時亮燈 (4) X 射線一次濾光片 5 種自動切換 #1 17～25keV 范圍內有效（元素示例 40Zr, 42Mo, 44Ru, 45Rh,  48Cd） #2 2～5keV 范圍內有效（元素示例 17Cl, 24Cr） #3 5～7keV 范圍內有效（元素示例 24Cr） #4 5～13keV 范圍內有效（元素示例 80Hg, 82Pb, 83Bi, 35Br） #5 21～24keV（5～13keV）范圍內有效 （ 元素示例 80Hg, 82Pb, 35Br,  48Cd） (5) 準直器 4 種自動切換 1mm, 3mm, 5mm, 10mmφ ４．２ 檢測器 (1) 檢測器 樣式 硅漂移探測器 冷卻方式 電子制冷（無需液氮） 檢測范圍 Na – U (EDX-7000)、C – U (EDX-8000/8100) ４．３ 計數?控制部  (1) 計數部 波形整形 數字處理（梯形濾光片） 檢測范圍 0～20,0～40（keV） 通道數量 2048ch 計數 2 32 - 1 / ch (2) 控制部 控制対象 X 射線發射部（X 射線電源、遮光器?濾光器、準直器）、檢測器、